簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "曾堯宣".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


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    探討化學機械拋光於多晶氮化鋁平坦化之研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生： 賴厚州   指導教授： 陳士勛
    • 隨著高功率電子元件的發展，因應效能的提升勢必產生更多熱能，為了避免高溫對元件的可靠度及運作帶來影響，多晶氮化鋁因具有高熱導率、高絕緣性及低成本，適合作為高功率電子元件的散熱基板。然而，多晶氮化鋁基板…
    • 點閱：390  下載：4 

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    探討化學機械拋光用於改善氧化鋅異質磊晶於雲母可撓性基板之平坦度
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生： 林瑩秀   指導教授： 陳士勛
    • 隨著科技的發展，大眾對於電子產品的需求越來越多樣化，其中具備可撓特性之電子產品是近年來的發展趨勢，為了使傳統的電子元件擁有可撓的功能，大多利用可撓性基板取代傳統硬基板，而因為白雲母(Muscovit…
    • 點閱：200  下載：6 
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